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真空泵在工作q程中所表现出的工作状态，能够反应该܇的优劣特性。对于真I܇现已规定Ҏ(gu)来检验其性能Q其主要参数有以下几U：
1.极限压力Q极限压力对于真I来说也叫极限真I度Q是在没有负载的条g下获得的最大真I度Q是把容器与真空늛q，q行长时间的抽气Q当容器内气体压力值稳定时Q此压力即ؓ极限压力?br />
2.量Q在真空泵吸气口处，单位旉内流q气体量UCؓ늚量Q在真空技术中Q流?压力×体积/旉Q通常要给出܇的流量与入口压力曲线的关pR?br />
3.抽气速率Q是指܇装有标准试验|，q按规定条g工作Ӟ从试验罩过的气体流量与在试验罩指定位置得的^衡压Z比，或者说在܇的吸气口处，单位旉内流q气体的体积UCؓ늚抽气速率Q简U܇的抽速?br />
4.真空늚启动压强Q它是指泉|损坏启动q有抽气作用时的压强?br />
5.늚前压强Q它是指排气压强低于一个大气压的真I܇的出口压强?br />
6.真空늚最大前U压强：它是指超q了能泉|坏的前压强?br />
7.真空늚最大工作压强：它是指对应最大抽气量的入口压强，在此压强下，泵能q箋工作q保持好的工作状态而不恶化或损坏?br />
8.压羃比：它是指܇对给定气体的出口压强与入口压Z比?br />
9.q流率：它是指܇按规定条件工作时Q通过泵入口单位面U的泉|质量率?br />
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